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簡要描述：PEV-1美國HEY壓電閥是為了適用于要求精確控制氣體流量的場合，主要應(yīng)用領(lǐng)域包括: 磁控濺射，光學(xué)鍍膜，太陽能電池，ITO，等離子體刻蝕等。
產(chǎn)品型號：PEV-1廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-05-08訪 問 量：7554產(chǎn)品資料：產(chǎn)品分類
詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
PEV-1美國HEY壓電閥
特點
1. 控制模式：開環(huán)控制和閉環(huán)控制
2. 易于集成：可與國產(chǎn)自動壓強控制儀配套使用，來實現(xiàn)閉環(huán)控制，達到穩(wěn)定壓強的目的，性價比高，同時亦可選擇進口壓強控制儀
3. 響應(yīng)時間快
4. 性能穩(wěn)定，壓電陶瓷片壽命長
5. 無機械連接件，無伺服馬達，無磨損，在斷電的情況下可實現(xiàn)自動關(guān)閉的特點
技術(shù)參數(shù)
流量 0--500 scmm
響應(yīng)時間 2 毫秒
集成漏率 5×10-8sml/sec
驅(qū)動電壓 0-100VCD/0-24VDC
電路連接 標(biāo)準(zhǔn)BNC接頭（Q9）
溫度范圍 100C至600C
zui大入口壓強 50PSI
重量 800克
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