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簡(jiǎn)要描述：EXT556H EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)，以及壽命長(zhǎng)、小振動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。
產(chǎn)品型號(hào)：EXT556H廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-04-22訪 問 量：5555產(chǎn)品資料：詳細(xì)介紹
| 品牌 | Edwards/愛德華 | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 加工定制 | 否 |
EXT556H EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵
性能特點(diǎn)
高臨界前級(jí)壓力。
高體積流速。
* 抽速快。
多級(jí)Holweck分子拖曳結(jié)構(gòu)，對(duì)輕氣體產(chǎn)生高壓縮比。
極限真空<10E-10 mbar 。
復(fù)合軸承。
免維護(hù)。
EXT556H EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵
技術(shù)數(shù)據(jù)
主入口法蘭 DN160ISO-K | |||
出口法蘭 | DN25NW | ||
放氣口 | 1/8 inch BSP | ||
吹掃凈化口 | 1/8 inch BSP | ||
入口泵速* | |||
N2 | 540 l/s | ||
| He | 580 l/s | |
壓縮比 |
| ||
| N2 | >10E10 | |
| He | 10E8 | |
前級(jí)泵（推薦） | RV12 | ||
zui高入口壓力（ N2, He）** |
| ||
| 水冷（水溫15°C） | 2 x 10E-3 mbar | |
| 空冷（大氣溫度30°C） | 1 x 10E-3 mbar | |
| 空冷（大氣溫度35°C） | 5 x 10E-4 mbar | |
額定轉(zhuǎn)速 | 50000 rpm | ||
轉(zhuǎn)速達(dá)到90%所需時(shí)間 ** |
| ||
EXC250 | 5 min | ||
| EXC300 | 6.5 min | |
| EXDC160 | 8 min | |
冷卻方式 | 空冷/水冷 | ||
大氣溫度（空冷） | 0-35 °C | ||
推薦冷卻水流速（水溫15 °C） | 15 l/h | ||
水溫范圍 | 10-20 °C | ||
入口法蘭zui高溫度 | 100 °C | ||
工作姿態(tài) | 垂直 | ||
噪音（1m處） | <60 dB（A） | ||
zui大磁場(chǎng) |
| ||
| 軸向 | <7 mT | |
徑向 | <3 mT | ||
靜止功耗 | 35 W | ||
* 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時(shí)，泵速下降約20%。
** 前級(jí)壓力<0.3 mbar，大于此轉(zhuǎn)速下降。
EXT556H EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵
安裝尺寸
A 入口ISO100
B 入口ISO160
C 放氣口
D 接地
E 吹掃凈化口
F 前級(jí)泵口
G 電連接
H 底部安裝孔（8個(gè)）/橡膠腳（4個(gè)）
EXT556H渦輪分子泵特性曲線
訂貨信息
描述 | 貨號(hào) |
EXT556H 復(fù)合渦輪分子泵 DN160ISO-K | B777-51-000 |
EXT556H 復(fù)合渦輪分子泵 DN160CF | B777-52-000 |
EXT556H 復(fù)合渦輪分子泵 DN160ISO-K （馬氏體外殼） | B777-57-000 |
EXT556H 復(fù)合渦輪分子泵 DN160CF （馬氏體外殼） | B777-58-000 |
EXT556H 復(fù)合渦輪分子泵 DN160ISO-K （精美入口篩網(wǎng)） | B777-61-000 |
EXC250E | D396-35-000 |
EXC250L | D396-36-000 |
EXC300 | D396-14-000 |
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