TT系列 MKS質(zhì)量流量計

簡要描述：TT系列 MKS質(zhì)量流量計π系列金屬密封壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2025-04-22
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TT系列 MKS質(zhì)量流量計

πMFC 是新一代壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器。實時高精度流量控制是基于數(shù)字算法技術(shù)，能有效地避免因壓力波動而造成的流量不穩(wěn)。 πMFC 廣泛地應(yīng)用于諸如半導(dǎo)體和薄膜生產(chǎn)工藝等高精度、高純度氣體系統(tǒng)。 πMFC 集成壓力傳感器并顯示壓力等讀數(shù)，各種模擬和數(shù)字通訊口可選。

πMFC 壓力不敏感質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從10 sccm – 50 slm。
πMFC 低壓質(zhì)量流量控制器，滿量程范圍從2 – 50 sccm。

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